[实用新型]一种废液自动回收装置有效
| 申请号： | 201821633297.5 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN209415043U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 初亚东 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08;F17D1/14;F17D3/01 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300000 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型创造提供了一种废液自动回收装置，配合蚀刻设备使用，包括依次连接的回收通道、气动阀、中间收集罐、气动隔膜泵、输送管道和收集罐，且气动阀的启动控制端通过第一电磁阀与第一压空管道密封连通，气动隔膜泵的气动控制端通过第二电磁阀与第二压空管道密封连通，中间收集罐内设有液位传感器；液位传感器、第一电磁阀和第二电磁阀均与控制器信号连接。本实用新型创造所述的废液自动回收装置，避免了作业人员直接接触腐蚀液，利用气动隔膜泵进行废液收集，提高了废液收集的速率和安全性，且利用中间收集罐作为缓冲，可以降低废液温度的同时，避免温度对气动隔膜阀的影响，采用自动液位控制启停，避免了人工调整带来的滞后性以及不确定性。 | ||
| 搜索关键词： | 废液 自动回收装置 气动隔膜泵 收集罐 本实用新型 第一电磁阀 液位传感器 废液收集 密封连通 压空管道 电磁阀 气动阀 自动液位控制 控制器信号 气动隔膜阀 气动控制端 不确定性 回收通道 启动控制 人工调整 蚀刻设备 输送管道 依次连接 腐蚀液 速率和 滞后性 缓冲 启停 配合 | ||
【主权项】：
1.一种废液自动回收装置，其特征在于：配合蚀刻设备使用，包括回收通道(1)、气动阀(2)、第一电磁阀(3)、第一压空管道(4)、中间收集罐(5)、液位传感器(6)、气动隔膜泵(7)、第二电磁阀(8)、第二压空管道(9)、输送管道(10)、收集罐(11)和控制器(12)；所述回收通道(1)的一端与蚀刻设备的废液出口密封连通，另一端通过气动阀(2)与所述中间收集罐(5)的上端入口密封连通，且所述气动阀(2)的启动控制端通过第一电磁阀(3)与所述第一压空管道(4)密封连通；所述中间收集罐(5)内设有液位传感器(6)；所述气动隔膜泵(7)的入口通过输送管道(10)与所述中间收集罐(5)的下端出口密封连通，该气动隔膜泵(7)的出口通过输送管道(10)与所述收集罐(11)的上端入口密封连通，且所述气动隔膜泵(7)的气动控制端通过第二电磁阀(8)与所述第二压空管道(9)密封连通；所述液位传感器(6)、第一电磁阀(3)和第二电磁阀(8)均与所述控制器(12)信号连接。
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