[实用新型]一种新型碳化硅晶片研磨盘

摘要

本实用新型公开了一种新型碳化硅晶片研磨盘，包括研磨盘本体，研磨盘本体的一侧设有研磨层，研磨盘本体的中部开设有第一定位孔，研磨层的中部开设有与第一定位孔相匹配的第二定位孔，研磨层的一侧固定设有若干个块体，第一定位孔两侧的孔壁均开设有倾斜的沟槽，本实用新型一种新型碳化硅晶片研磨盘，由于改进后的研磨盘，可以避免研磨液与碎屑积聚在研磨盘上的沟槽，时间久了两者团聚成块状颗粒，解决了研磨过程中碳化硅晶片出现破片和裂痕等的风险，同时也可以降低操作员对研磨盘面刮沟槽的次数，不仅改善了产品的良率，同时也提高了生产效率。

主权项

1.一种新型碳化硅晶片研磨盘，包括研磨盘本体(1)，其特征在于，所述研磨盘本体(1)的一侧设有研磨层(2)，所述研磨盘本体(1)的中部开设有第一定位孔(3)，所述研磨层(2)的中部开设有与第一定位孔(3)相匹配的第二定位孔(4)，所述研磨层(2)的一侧固定设有若干个块体(5)，若干个所述块体(5)之间开设有倾斜的沟槽(6)。