[实用新型]一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台有效
申请号: | 201821576775.3 | 申请日: | 2018-09-27 |
公开(公告)号: | CN209156294U | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | 刘伟明;何汶华 | 申请(专利权)人: | 标格达精密仪器(广州)有限公司 |
主分类号: | B05C13/00 | 分类号: | B05C13/00 |
代理公司: | 广州三辰专利事务所(普通合伙) 44227 | 代理人: | 陈惠珊 |
地址: | 511375 广东省广州市增城区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台,是涂布机上的真空涂布台。它公开了真空涂布台由上下两块板叠合密封而成,上板有上下贯穿的吸附孔,上板的内部气道有吸附孔、真空腔,吸附孔和真空腔通过采用文丘里原理设计的三级变截面微流道相连接起来,真空腔与真空发生装置连接。本实用新型的优点是真空涂布台上吸附孔会由于涂布台内部缝隙的壅塞以及泄漏的吸附孔气流造成的文丘里低压,保持对试样的高真空附着力,是一种经济便利的真空涂布台。 | ||
搜索关键词: | 真空涂布 吸附孔 真空腔 文丘里 底材 上板 附着力 兼容 真空发生装置 本实用新型 叠合密封 内部气道 上下贯穿 原理设计 变截面 高真空 涂布台 微流道 泄漏 便利 | ||
【主权项】:
1.一种可兼容不同尺寸底材的真空涂布台,包括真空涂布台和真空发生装置,其特征在于:真空涂布台由上下两块板叠合密封而成,上板有上下贯穿的吸附孔,上板的内部气道有吸附孔、真空腔,吸附孔和真空腔通过采用文丘里原理设计的三级变截面微流道相连接起来,真空腔与真空发生装置连接。
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