[实用新型]一种连续镀膜设备的翻转机构有效
| 申请号： | 201821559980.9 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN208933466U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王晗权;王兴杰;周年生;方辉鹤;张洪波 | 申请（专利权）人： | 百琪达智能科技（宁波）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/35;H01F41/18 |
| 代理公司： | 宁波浙成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33268 | 代理人： | 洪松 |
| 地址： | 315500 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续镀膜设备的翻转机构，包括进料仓、过渡仓和镀膜室，镀膜室连接于进料仓和过渡仓之间，镀膜室内设置靶材、溅射电源和传送机构，进料仓内设置有第一基片架，过渡仓内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构为三轴翻转机械手，翻转机构包括翻转机械手X轴链、翻转机械手Y轴链、翻转机械手Z轴链、翻转机械手运行轨道、旋转臂、夹紧气缸和翻转驱动机构，旋转臂设置于翻转机械手Z轴链的输出端，夹紧气缸设置于旋转臂上，翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。本实用新型通过自动化设备将钕铁硼磁片翻面,提高了工作效率,而且钕铁硼磁片不易被氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转机械手 翻转机构 基片架 钕铁硼磁片 过渡仓 进料仓 旋转臂 连续镀膜设备 本实用新型 夹紧气缸 镀膜室 翻转驱动机构 自动化设备 传送机构 工作效率 溅射电源 运行轨道 翻转 输出端 靶材 镀膜 翻面 三轴 室内 | ||
【主权项】：
1.一种连续镀膜设备的翻转机构，包括进料仓（1）、过渡仓（2）和至少一条镀膜室（3），镀膜室（3）连接于进料仓（1）和过渡仓（2）之间，镀膜室（3）内设置靶材（4）、溅射电源和传送机构，溅射电源与所述靶材（4）电连接，用以向所述靶材（4）输出溅射功率，其特征在于：进料仓（1）内设置有第一基片架,过渡仓（2）内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构为三轴翻转机械手（9），翻转机构包括翻转机械手X轴链（10）、翻转机械手Y轴链（11）、翻转机械手Z轴链（12）、翻转机械手运行轨道（13）、旋转臂（14）、夹紧气缸（15）和翻转驱动机构，翻转机械手X轴链（10）、翻转机械手Y轴链（11）、翻转机械手Z轴链（12）均设置于翻转机械手运行轨道（13）上，且通过翻转驱动机构带动翻转机械手X轴链（10）、翻转机械手Y轴链（11）、翻转机械手Z轴链（12）在进翻转械手运行轨道上滑动，旋转臂（14）设置于翻转机械手Z轴链（12）的输出端，夹紧气缸（15）设置于旋转臂（14）上， 翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。
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