[实用新型]用于精密工件的表面形貌检测装置

摘要

本实用新型公开一种用于精密工件的表面形貌检测装置，包括基座、大理石平台、工作台、Z轴升降座、镜头组件和光源组件，光源组件进一步包括套筒、反光镜、环形光源和同轴光源，套筒上端与镜头组件安装连接，环形光源设置于套筒下端，反光镜呈45°安装于套筒内，同轴光源垂直安装于套筒中部，此同轴光源的光线水平射向反光镜并经反光镜反射沿竖直方向向下射出，第一轴承、第二轴承和第三轴承均倾斜设置，第一轴承和第三轴承的倾斜方向与角度相同，第二轴承与第一轴承、第三轴承的倾斜方向相反，倾斜角度相同。本实用新型解决了光源在照射下方的工件时，无法照射到工件中心位置的情况，提高了对工件的成像与测量精度。

主权项

1.一种用于精密工件的表面形貌检测装置，其特征在于：包括基座（14）、大理石平台（5）、工作台（3）、Z轴升降座（1）、镜头组件（2）和光源组件（15），所述大理石平台（5）设置于基座（14）上表面一侧，所述工作台（3）位于大理石平台（5）上表面，所述大理石平台（5）一侧竖直设置有一立柱（9），所述Z轴升降座（1）安装于立柱（9）上并位于工作台（3）上方，所述镜头组件（2）安装于Z轴升降座（1）上并可以在Z轴升降座（1）驱动下上下移动，所述光源组件（15）安装于镜头组件（2）下方，所述工作台（3）相邻的两个侧面分别安装有X轴驱动机构（23）和Y轴驱动机构（24），用于驱动工作台（3）沿X轴方向或者Y轴方向运动；所述光源组件（15）进一步包括套筒（36）、反光镜（37）、环形光源（38）和同轴光源（39），所述套筒（36）上端与镜头组件（2）安装连接，所述环形光源（38）设置于套筒（36）下端，所述反光镜（37）呈45°安装于套筒（36）内，所述同轴光源（39）垂直安装于套筒（36）中部，此同轴光源（39）的光线水平射向反光镜（37）并经反光镜（37）反射沿竖直方向向下射出；所述X轴驱动机构（23）进一步包括光杆（25）、分别安装于光杆（25）两端的安装板、安装于光杆（25）并可以沿光杆（25）轴向移动的活动块（27），此活动块（27）位于两个安装板之间并与工作台（3）固定连接，用于带动工作台（3）在X轴方向移动，所述光杆（25）与安装板之间通过轴承座可转动连接；所述活动块（27）具有一内腔，此内腔中设置有第一轴承（281）、第二轴承（282）和第三轴承（283），所述第一轴承（281）、第二轴承（282）和第三轴承（283）依次套装于光杆（25）上，所述相邻的两个轴承之间具有分别具有一楔形隔离块（29），所述活动块（27）两端分别固定有一压板（30）；所述第一轴承（281）、第二轴承（282）和第三轴承（283）均倾斜设置，所述第一轴承（281）和第三轴承（283）的倾斜方向与角度相同，所述第二轴承（282）与第一轴承（281）、第三轴承（283）的倾斜方向相反，倾斜角度相同。