[实用新型]一种用于硅片研磨的工装夹具

摘要

一种用于硅片研磨的工装夹具，包括底板、压板、环压板，所述底板的底部端面上设有限位凸台，限位凸台上还镶嵌有耐磨块，所述底板上端位于相邻的2个侧边上固定有侧板，侧板上均匀设有多个腰型孔，侧板的上端固定有与底板平行的顶板，所述顶板的四周活动套装有多根钢柱，钢柱垂直贯穿顶板，钢柱的上端均固定在环压板的底部，钢柱的下端均固定在压板的上端，环压板和压板之间经过多根钢柱固定连接，所述顶板上端还固定有输出端向下的气缸，气缸的输出端与压板固定连接。本实用新型通过使用气缸替代大螺杆，传动更精准平稳，并且省时省力，从而减轻劳动强度提高作业效率。

主权项

1.一种用于硅片研磨的工装夹具，包括底板（4）、压板（3）、环压板（2），其特征在于，所述底板（4）的底部端面上设有限位凸台（8），限位凸台（8）上还镶嵌有耐磨块（10），所述底板（4）上端位于相邻的2个侧边上固定有侧板（5），侧板（5）上均匀设有多个腰型孔（9），侧板（5）的上端固定有与底板（4）平行的顶板（6），所述顶板（6）的四周活动套装有多根钢柱（7），钢柱（7）垂直贯穿顶板（6），钢柱（7）的上端均固定在环压板（2）的底部，钢柱（7）的下端均固定在压板（3）的上端，环压板（2）和压板（3）之间经过多根钢柱（7）固定连接，所述顶板（6）上端还固定有输出端向下的气缸（1），气缸（1）的输出端与压板（3）固定连接。