[实用新型]电弧检测等离子处理装置有效
| 申请号： | 201821448595.7 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN209028167U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 戴斌;王贤斌;陶忠元 | 申请（专利权）人： | 南京威登等离子科技设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 杜静静 |
| 地址： | 210008 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电弧检测等离子处理装置，所述处理装置包括可编程序控制器、可控高压脉冲电源、罗茨风机、等离子腔体、高压变压器、光纤透镜、石英导光柱以及电弧检测器，所述罗茨风机通过送风软管连接等离子腔体，所述高压脉冲电源通过高压变压器连接等离子腔体，所述石英导光柱一端直接连接到等离子腔体内喷口采集放电过程中产生的电弧光信号，另一端紧密连接到光纤透镜，来自等离子腔体内的电弧光，通过光纤传送到电弧检测器，检测结果送至可编程序控制器，所述可编程序控制器将控制信号发送至可控高压脉冲电源。该技术方案采集等离子体的物理信号，直接反应等离子体的喷射情况，整条产线不会因为等离子体误检测而产生异动情况。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 可编程序控制器 高压脉冲电源 等离子腔体 等离子处理装置 电弧检测器 高压变压器 等离子腔 电弧检测 光纤透镜 罗茨风机 导光柱 电弧光 可控 石英 体内 采集 控制信号发送 本实用新型 处理装置 放电过程 检测结果 紧密连接 送风软管 物理信号 直接反应 误检测 产线 喷口 异动 喷射 光纤 | ||
【主权项】：
1.一种电弧检测等离子处理装置，其特征在于，所述处理装置包括可编程序控制器、可控高压脉冲电源、罗茨风机、等离子腔体、高压变压器、光纤透镜、石英导光柱以及电弧检测器，所述罗茨风机通过送风软管连接等离子腔体，所述高压脉冲电源通过高压变压器连接等离子腔体，所述石英导光柱一端直接连接到等离子腔体内喷嘴，采集放电过程中产生的电弧光信号，另一端紧密连接到光纤透镜，来自等离子腔体内的电弧光，通过光纤传送到电弧检测器，检测结果送至可编程序控制器，所述可编程序控制器将控制信号发送至可控高压脉冲电源。
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