[实用新型]基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置

摘要

本实用新型公开了一种基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置。解决了等离子体闪光法对薄膜损伤识别装置的误判问题，技术方案是：用至少三个探测器分别获取空气和薄膜等离子体闪光信号及入射激光信号，以后者为基准，得到空气和薄膜等离子体闪光点燃时间，准确分辨出空气和薄膜等离子体闪光，消除误判。分别采集基准和闪光信号；获取基准和闪光信号起始时刻；以基准和闪光信号起始时刻之差作为闪光点燃时间；测量闪光点燃时间；比较并得出损伤识别判据。本实用新型能够准确进行薄膜损伤识别，并可针对任意薄膜进行测量，测量精度达0.1ns，装置结构简单，可靠性好。本实用新型应用于强激光作用下的光学薄膜损伤判别。

主权项

1.一种基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置，由激光器发出的强激光，沿激光出射方向依次经过滤光片、衰减器、聚焦系统到达样品台前的被测薄膜，激光经过聚焦系统聚焦于被测样品台处的薄膜附近，诱导薄膜被击穿而产生等离子体闪光，用探测器接收闪光，能量计实时读取分束器的反射光能量，计算机为操作控制台，其特征在于，所述探测器至少为三个，其中两个分别置于水平面上沿激光出射方向闪光信号的左右对称位置，左侧为薄膜等离子体闪光信号探测器，右侧为空气等离子体闪光信号探测器，另外一个入射激光信号探测器设置在聚焦系统的第一个透镜侧后方，入射激光信号探测器前加设有衰减片组，探测器采集入射激光和等离子体闪光信号并转换为电信号，以上探测器所得信号同步传输至信号接收装置。