[实用新型]一种供气可调的阴极平台有效
| 申请号： | 201821408754.0 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN208844184U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 匡国庆 | 申请（专利权）人： | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 镇江基德专利代理事务所(普通合伙) 32306 | 代理人： | 马振华 |
| 地址： | 212216 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种供气可调的阴极平台，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；供气装置包括底架，中架，左、右侧板，通气板和顶架；中架的左侧面设有主过气凹槽，主过气凹槽经左侧板封闭形成主供气管路，中架的右侧面设有若干个独立的辅过气凹槽，辅过气凹槽经右侧板封闭形成若干个独立的辅供气管路，通气板内部设有若干个横截面呈Y字形的气道；所述Y字形气道的底部入口同时与主供气管路的出口以及辅供气管路的出口相连，所述主供气管路的入口与主进气管道相连，若干个辅供气管路的入口与若干个辅进气管道一一对应相连。该装置既可进行整体供气，又具有局部的供气可调功能。 | ||
| 搜索关键词： | 供气管路 供气 供气装置 阴极 可调的 通气板 右侧板 底座 气道 本实用新型 主进气管道 底部入口 对称设置 进气管道 封闭 阴极体 右侧面 左侧板 左侧面 底架 顶架 可调 出口 | ||
【主权项】：
1.一种供气可调的阴极平台，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的供气装置包括固定在底座上的底架、与底架相连的中架、设置在中架两侧的左、右侧板和横截面呈工字形的顶架；所述中架的左侧面设有主过气凹槽，主过气凹槽经左侧板封闭形成主供气管路，中架的右侧面设有若干个独立的辅过气凹槽，辅过气凹槽经右侧板封闭形成若干个独立的辅供气管路；所述顶架与中架通过通气板相连，所述的通气板内部设有若干个横截面呈Y字形的气道；所述Y字形气道的底部入口同时与主供气管路的出口以及辅供气管路的出口相连，所述主供气管路的入口与主进气管道相连，若干个辅供气管路的入口与若干个辅进气管道一一对应相连。
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