[实用新型]一种异形铝材真空镀膜固定架

摘要

本实用新型提供一种异形铝材真空镀膜固定架，包括底座，密封胶圈，铝材旋转机构，升降机构，坩埚，基片，真空罩，安装板，支架，抽真空泵和电控柜，所述密封胶圈结构胶粘贴在底座上；所述铝材旋转机构设置在密封胶圈内部；所述升降机构通过螺栓安装在底座的右侧；所述坩埚设置在真空罩内部，并通过焊接固定。本实用新型铝材旋转机构的设置，能够在异型铝材进行镀膜的时候实现360°旋转，升降机构的设置，带动真空罩实现开启闭合的作用，提高了设备的机械化程度，新型的坩埚的设置，通过往坩埚中添加蒸发物质，并用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质，使其具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜。

主权项

1.一种异形铝材真空镀膜固定架，其特征在于：包括底座（1），密封胶圈（2），铝材旋转机构（3），升降机构（4），坩埚（5），基片（6），真空罩（7），安装板（8），支架（9），抽真空泵（10）和电控柜（11），所述密封胶圈（2）粘贴在底座（1）上；所述铝材旋转机构（3）设置在密封胶圈（2）内部；所述升降机构（4）的数量为2个，通过螺栓安装在底座（1）上，并分别与2个支架（9）连接，其中一个升降机构（4）带有升降电机（41）并与升降电机（41）传动连接；所述坩埚（5）设置在真空罩（7）内部，并通过焊接固定；所述基片（6）粘贴在安装板（8）的底部；所述安装板（8）通过焊接安装在真空罩（7）的顶部；所述真空罩（7）安装到升降机构（4）上，由升降机构（4）带动上升和下降，当下降到底部时能与密封胶圈（2）配合形成密封空间；所述支架（9）采用2个，通过螺栓安装在底座（1）的左端上部和右端上部；所述抽真空泵（10）设置在密封胶圈（2）的左侧，并通过导线与电控柜（11）连接；所述电控柜（11）设置在底座（1）的左上部。