[实用新型]带水封装置的自动回水分流装置

摘要

本实用新型属于超纯水系统中氮气密封水箱上的氮气密封自动回水分流装置。一种带水封装置的自动回水分流装置，具有储备水的前级水箱和可提高水纯净度的纯化设备，前级水箱与纯化设备相接通，所述前级水箱上接有回流管，回流管连接于水封箱，水封箱上装有回流管和排气管，所述回流管和排气管都连接于氮封水箱，氮封水箱上设有输入氮气的氮气管，所述纯化设备上设有供水管，供水管与回流管相互接通。本实用新型的有益之处是：本装置是将回水分流系统与氮封水箱合而为一，在实现自动回水分流的过程中，同时对氮封水箱进行水封，使结构简单化，功能多样化。