[实用新型]一种半导体废气处理设备止回阀

摘要

本实用新型涉及废气处理设备技术领域，具体为一种半导体废气处理设备止回阀，包括上盖和下盖，上盖和下盖的中部贯穿设置通孔，所述上盖靠近下盖的外侧突出设置上凸起，所述下盖在靠近上盖的外侧突出设置下凸起，本实用新型的有益效果是：本止回阀因其在等压环境下为闭合状态，具有自动复位功能，所以安装位置及角度不受限制，角度可以随意安装，很大程度上提高了实用性能；机台内安装位置不受限制，在进口、出口都可安装，装在进气口更加有效的避免气体逆流引起管路高温危险；相比传统的技术，本实用新型通过逆止挡板的设计，可以做到有效密封，避免磨损；本实用新型适用性强，可以更改进出口连接方式进而应用在走水管路中。

主权项

1.一种半导体废气处理设备止回阀，包括上盖(1)和下盖(2)，上盖(1)和下盖(2)的中部贯穿设置通孔，所述上盖(1)靠近下盖(2)的外侧突出设置上凸起(11)，所述下盖(2)在靠近上盖(1)的外侧突出设置下凸起(21)，所述上盖(1)和下盖(2)相合，且上凸起(11)和下凸起(21)之间通过穿插的螺栓固定，其特征在于：所述上盖(1)的通孔远离下盖(2)处一体设置固定杆(3)，且上盖(1)的通孔靠近下盖(2)处直径扩大形成逆止腔(7)，所述上盖(1)在固定杆(3)的内侧依次设置有弹簧(6)、中心轴(5)和逆止挡板(4)，所述中心轴(5)远离固定杆(3)的一端突出设置限位台(51)，且中心轴(5)远离逆止挡板(4)的一端穿过弹簧(6)并穿插在固定杆(3)的中部，所述逆止挡板(4)呈T形结构设置，所述逆止挡板(4)的上端位于逆止腔(7)中，且逆止挡板(4)靠近中心轴(5)的一侧中部设置定位槽，中心轴(5)远离固定杆(3)的一端插在定位槽中，所述逆止挡板(4)的远离中心轴(5)的一侧压在下盖(2)的端面上。