[实用新型]单晶硅加热器有效
申请号: | 201821175884.4 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN208562591U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 马腾飞;汪奇;马新成;李江林;豆欣妍 | 申请(专利权)人: | 新疆晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅加热器,涉及单晶硅制备设备技术领域,主要目的是提供一种能够降低加热器的生产成本的单晶炉加热器。本实用新型的主要技术方案为:一种单晶硅加热器,包括:加热器脚;本体,本体包括多个加热板和多个连接板,多个连接板包括第一连接板和第二连接板,第一连接板的一端可拆卸连接于其中一个加热板,另一端可拆卸连接于加热器脚,第二连接板的一端可拆卸连接于加热器脚,另一端可拆卸连接于其中一个加热板。本实用新型主要用于制备单晶硅。 | ||
搜索关键词: | 加热器 连接板 单晶硅 可拆卸连接 本实用新型 加热板 制备设备 单晶炉 制备 生产成本 | ||
【主权项】:
1.一种单晶硅加热器,其特征在于,包括:加热器脚;本体,所述本体包括多个加热板和多个连接板,多个所述连接板包括第一连接板和第二连接板,所述第一连接板的一端可拆卸连接于其中一个所述加热板,另一端可拆卸连接于所述加热器脚,所述第二连接板的一端可拆卸连接于所述加热器脚,另一端可拆卸连接于其中一个所述加热板。
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