[实用新型]一种利于冷却的旋转靶靶管有效
| 申请号： | 201821147027.3 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN208791743U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王正安 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 鲍胜如 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种利于冷却的旋转靶靶管，包括：靶材背管(2)及与靶材背管同轴设置的冷却液出口通道(5)；靶材背管(2)内壁与冷却液出口通道(5)外壁组成的空间为冷却液进口通道(4)；冷却液出口通道(5)一侧通过支架(7)设置有磁棒(8)；冷却液进口通道(4)的内壁设置有用于增强冷却液扰动的凸起结构。本实用新型提供的利于冷却的旋转靶靶管增强了冷却过程中冷却液的扰动，使得冷却过程中温度分布更均匀，同时，提高了冷却液的利用率，节约了能量。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却液出口通道 冷却液 旋转靶 靶材 靶管 背管 冷却 本实用新型 冷却液进口 冷却过程 扰动 内壁 同轴设置 凸起结构 温度分布 磁棒 外壁 支架 节约 | ||
【主权项】：
1.一种利于冷却的旋转靶靶管，其特征在于，包括：靶材背管(2)及与所述靶材背管同轴设置的冷却液出口通道(5)；所述靶材背管(2)内壁与所述冷却液出口通道(5)外壁组成的空间为冷却液进口通道(4)；所述冷却液出口通道(5)外壁一侧通过支架(7)设置有磁棒(8)；所述冷却液进口通道(4)的内壁设置有用于增强冷却液扰动的凸起结构。
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