[实用新型]一种晶体炉观察窗有效
申请号: | 201821111936.1 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN208545515U | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 刘景峰 | 申请(专利权)人: | 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人: | 马知非 |
地址: | 101300*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种晶体炉观察窗设置在炉体顶部,包括:用于将观察窗设置在炉体上的观察窗本体;用于观察炉体内晶体生长情况的观察口,其设置在观察窗本体顶端;其设置在观察窗本体上的上窗口片,位于所述观察口下方,并位于炉体外侧;设置在炉体内,通过旋转来更换观察窗口片的转盘装置,其包括用于观察炉体内晶体生长情况的若干观察窗口片、设置有若干观察窗口片的转盘、用于旋转所述转盘以更换观察窗口片的的旋转结构和用于驱动旋转结构旋转的驱动装置,所述转盘通过旋转结构设置在所述炉体顶部。本实用新型提供一种晶体炉观察窗,通过将若干观察窗口片设置在转盘上,在一个观察窗口片被挥发物污染后,旋转转盘即可实现观察窗口片的更换工作。 | ||
搜索关键词: | 观察窗口 观察窗 转盘 晶体炉 晶体生长 炉体顶部 旋转结构 体内 观察口 挥发物 本实用新型 驱动旋转 驱动装置 位于炉体 旋转转盘 转盘装置 上窗口 观察 炉体 污染 | ||
【主权项】:
1.一种晶体炉观察窗,设置在炉体顶部,其上部由炉体顶部向上伸出,其下部设置在所述炉体内部;其特征在于,所述观察窗包括:用于将所述观察窗设置在炉体上的观察窗本体;用于观察所述炉体内晶体生长情况的观察口,其设置在观察窗本体顶端,并位于炉体外侧;用于隔离炉体内部与外界空间的上窗口片,其设置在观察窗本体上,位于所述观察口下方,并位于炉体外侧;设置在炉体内,通过旋转来更换观察窗口片的转盘装置,其包括用于观察炉体内晶体生长情况的若干观察窗口片、设置有若干观察窗口片的转盘、用于旋转所述转盘以更换观察窗口片的旋转结构和用于驱动旋转结构旋转的驱动装置,所述转盘通过旋转结构设置在所述炉体顶部。
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