[实用新型]一种靶材加工用立式贴合设备

摘要

本实用新型公开了一种靶材加工用立式贴合设备，包括机体、第一气室、气管、真空泵、铰链、第二气室和溅射装置，所述机体右侧设有电源端口，所述机体顶部设有第一气室，所述第一气室表面设有温度计，所述温度计与第一气室粘贴连接，所述第一气室内部设有工作台、夹具和调节件，所述工作台位于第一气室内部中侧，所述工作台顶部两侧设有夹具，所述夹具外侧设有调节件，所述调节件与夹具可拆卸连接，所述第一气室左侧设有气管。该一种靶材加工用立式贴合设备，通过在设备上设有加热装置、振荡器和夹具，靶材贴合效果好，且靶材在贴合过程中设备稳定性较强，不会造成靶材的脱落，导致靶材贴合失败，本新型结构成本低，易于推广使用。

主权项

1.一种靶材加工用立式贴合设备，包括机体(1)、第一气室(4)、气管(6)、真空泵(7)、铰链(9)、第二气室(10)和溅射装置(11)，其特征在于：所述机体(1)右侧设有电源端口(3)，所述机体(1)顶部设有第一气室(4)，所述第一气室(4)表面设有温度计(5)，所述温度计(5)与第一气室(4)粘贴连接，所述第一气室(4)内部设有工作台(13)、夹具(15)和调节件(16)，所述工作台(13)位于第一气室(4)内部中侧，所述工作台(13)顶部两侧设有夹具(15)，所述夹具(15)与工作台(13)可拆卸连接，所述夹具(15)外侧设有调节件(16)，所述调节件(16)与夹具(15)可拆卸连接，所述第一气室(4)左侧设有气管(6)，所述气管(6)右端延伸至第一气室(4)内部左侧，所述气管(6)左侧设有真空泵(7)，所述真空泵(7)通过管道与气管(6)连接，所述真空泵(7)外侧设有控制阀(8)，所述真空泵(7)顶部设有铰链(9)，所述铰链(9)左侧设有第二气室(10)，所述第二气室(10)通过铰链(9)与第一气室(4)连接，所述第二气室(10)顶部设有溅射装置(11)。