[实用新型]一种硅片在线检测设备有效
| 申请号： | 201821003114.1 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208736812U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 孙勇 | 申请（专利权）人： | 无锡中硅新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 214035 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片在线检测设备，包括一排传送轮、支承架、悬臂、视频检测器、气动杆、气动杆架、一对气动杆及气缸，设有支承架上安装一排传送轮均在水平方向旋转，一排传送轮的最凹处与传送带边缘接触，支承架上端安装悬臂、悬臂连接视频检测器置于支承架的上方，悬臂端部固定视频检测器在支承架上部的平面；一对气动杆及气缸互相平行，气动杆的后端在气缸内固定，气动杆的前端固定支承架；气动杆架安装固定一对气缸。本实用新型设备安装在硅片在线检测传送带边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 气动杆 支承架 气缸 传送轮 硅片 在线检测设备 传送带边缘 视频检测器 悬臂 水平方向旋转 检测器 本实用新型 支承架上部 安装固定 固定视频 固定支承 互相平行 设备安装 悬臂端部 悬臂连接 在线检测 内固定 上端 凹处 | ||
【主权项】：
1.一种硅片在线检测设备，其特征是，包括一排传送轮、支承架、悬臂、视频检测器、气动杆、气动杆架、一对气动杆及气缸，设有支承架上安装一排传送轮均在水平方向旋转，一排传送轮的最凹处与传送带边缘接触，支承架上端安装悬臂、悬臂连接视频检测器置于支承架的上方，悬臂端部固定视频检测器在支承架上部的平面；一对气动杆及气缸互相平行，气动杆的后端在气缸内固定，气动杆的前端固定支承架；气动杆架安装固定一对气缸。
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