[实用新型]一种半导体三坐标检测设备有效
| 申请号： | 201820996374.7 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN208366311U | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 孙德付 | 申请（专利权）人： | 无锡升滕半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人： | 段小丽 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体三坐标检测设备，包括三坐标检测设备和设置在所述三坐标检测设备的检测台上的检测夹具，所述检测夹具位于检测探头的下方；所述检测夹具包括基座、翻转机构、支撑板、固定板和限位机构，所述基座固定设置在检测台上，所述基座上垂直设置有固定板，所述固定板的顶端转动设置有支撑板，所述翻转机构设置在基座上，且所述翻转机构与支撑板连接设置，所述支撑板通过翻转机构绕固定板的顶端转动设置，所述支撑板上设置有限位机构，所述支撑板通过限位机构限位支撑板绕翻转机构转动的反方向。本实用新型提供一种半导体三坐标检测设备，可大幅度提升检测时的便捷性和零件夹持的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑板 三坐标检测 翻转机构 固定板 检测夹具 半导体 检测 本实用新型 限位机构 转动设置 限位支撑板 垂直设置 固定设置 连接设置 便捷性 反方向 夹持 探头 转动 | ||
【主权项】：
1.一种半导体三坐标检测设备，其特征在于：包括三坐标检测设备(20)和设置在所述三坐标检测设备(20)的检测台上的检测夹具，所述检测夹具位于检测探头的下方；所述检测夹具包括基座(1)、翻转机构、支撑板(4)、固定板(6)和限位机构(5)，所述基座(1)固定设置在检测台上，所述基座(1)上垂直设置有固定板(6)，所述固定板(6)的顶端转动设置有支撑板(4)，所述翻转机构设置在基座(1)上，且所述翻转机构与支撑板(4)连接设置，所述支撑板(4)通过翻转机构绕固定板(6)的顶端转动设置，所述支撑板(4)上设置有限位机构(5)，所述支撑板(4)通过限位机构(5)限位支撑板(4)绕翻转机构转动的反方向。
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