[实用新型]一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置

摘要

本实用新型公开了一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体，所述装置主体的外表面上方设置有显示屏，所述装置主体的外表面下方分别设置有操作键和开关，所述装置主体的一侧设置有进气口，所述装置主体的另一侧设置有出气口，该种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，当需要对硅烷气体进行分析检测时，可以通过吸气泵将硅烷气体由进气口吸入，电机将电能转化为机械能使驱动轴转动，带动搅拌架进行高速旋转，对吸气泵吸入的硅烷气体进行搅拌，此时通过操作键打开分析器和检测器，分析器和检测器采用气相色谱法分析其内部的杂质，并通过电信号传导至显示屏上，供使用者观察。

主权项

1.一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)的外表面上方设置有显示屏(2)，所述装置主体(1)的外表面下方分别设置有操作键(9)和开关(10)，所述装置主体(1)的一侧设置有进气口(3)，所述装置主体(1)的另一侧设置有出气口(11)，所述装置主体(1)的底部设置有支撑板(4)，所述支撑板(4)的底部连接有弹簧(5)，所述弹簧(5)的内部套接有限位柱(6)，所述限位柱(6)的底端连接有底板(8)，所述底板(8)的底部固定有支脚(7)，所述装置主体(1)的内部一侧设置有抽气泵(12)，且所述抽气泵(12)与进气口(3)相连通，所述装置主体(1)的内部下方设置有电机(13)，所述电机(13)的输出端连接有驱动轴(14)，所述驱动轴(14)的顶端连接有搅拌架(15)。