[实用新型]烘箱尾排冷凝装置

摘要

本实用新型涉及硅片烧结技术领域，尤其是一种烘箱尾排冷凝装置，包括具有内腔的冷凝柜，烘箱的废气排放管与冷凝柜中的内腔连通，废气排放管的出气口伸入至内腔中，内腔中沿竖直方向向上依次交替设置有若干左侧进水冷凝管和右侧进水冷凝管；本实用新型采用将烘箱的废气排放管与冷凝柜的内腔接通，使烘箱排放出的气体导入进冷凝柜的内腔中，从而利用左侧进水冷凝管和右侧进水冷凝管中的冷却水与气体进行换热，将气体中的有机废气冷凝成油污，以此减少外围管道上因有机废气遇冷凝结而成的油污，且通过将冷却水流向相反的左侧进水冷凝管和右侧进水冷凝管交错设置，从而使内腔中位于左半侧和右半侧的有机废气都能得到较好的凝结，提高冷凝效果。

主权项

1.一种烘箱尾排冷凝装置，其特征在于：包括具有内腔(1‑1)的冷凝柜(1)，所述烘箱(2)的废气排放管(3)与冷凝柜(1)中的内腔(1‑1)连通，所述废气排放管(3)的出气口伸入至内腔(1‑1)中，所述内腔(1‑1)中沿竖直方向向上依次交替设置有若干左侧进水冷凝管(4)和右侧进水冷凝管(5)；所述冷凝柜(1)的左侧设置有左进水管(6)和左出水管(7)，所述冷凝柜(1)的右侧设置有右进水管(8)和右出水管(9)，所有左侧进水冷凝管(4)的左端与左进水管(6)连通，所有左侧进水冷凝管(4)的右端与右出水管(9)连通，所有右侧进水冷凝管(5)的左端与左出水管(7)连接，所述右侧进水冷凝管(5)的右端与右进水管(8)连通；所有左侧进水冷凝管(4)和所有右侧进水冷凝管(5)均位于废气排放管(3)的出气口的上方，所述冷凝柜(1)的顶部设有与内腔(1‑1)连通的外围管道(10)，所有左侧进水冷凝管(4)和所有右侧进水冷凝管(5)均位于外围管道(10)上进气口的下方；所述内腔(1‑1)的底部设有回收盒(11)，所述内腔(1‑1)的内壁上固定有两端开口的收集斗(12)，所述收集斗(12)的内壁由上至下向内倾斜，所述收集斗(12)位于回收盒(11)的上方，所述废气排放管(3)的进气口位于收集斗(12)的上方。