[实用新型]一种掠角沉积设备及其样品台有效
| 申请号： | 201820954071.9 | 申请日： | 2018-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN208577779U | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;茹占强;宋盛星;宋贺伦;殷志珍;张耀辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种样品台，包括固定装置、冷却装置、加热装置，旋转装置以及样品托盘。所述冷却装置和所述加热装置同时固定于所述固定装置上，所述冷却装置设置于所述加热装置的中间，所述旋转装置包括旋转罩，所述样品托盘固定在所述旋转罩开口处；本实用新型还公开了一种掠角沉积设备，包括转动臂、主动齿轮和所述样品台，样品台一端与所述转动臂连接。本实用新型的样品台实现了在实验过程中不改变样品位置进行原位加热和冷却，使得高真空和超高真空薄膜沉积系统中的通用设备上的实验对温度调控范围更广，实验结果更为精确有效。 | ||
| 搜索关键词： | 样品台 加热装置 冷却装置 本实用新型 沉积设备 固定装置 旋转装置 样品托盘 旋转罩 转动臂 掠角 薄膜沉积系统 超高真空 实验过程 通用设备 温度调控 样品位置 原位加热 主动齿轮 高真空 开口处 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种样品台，其特征在于，包括一端用于连接工艺设备的固定装置(1)、冷却装置(2)、加热装置(3)，旋转装置(4)以及外表面用于放置样品的样品托盘(5)，所述旋转装置(4)包括旋转罩(41)，所述样品托盘(5)固定在所述旋转罩(41)开口处与旋转罩(41)形成容纳空间，所述冷却装置(2)和所述加热装置(3)至少局部位于所述容纳空间内且同时固定于所述固定装置(1)上，所述冷却装置(2)与所述样品托盘(5)内表面抵接。
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