[实用新型]碳化硅晶体测试仪偏摆夹具

摘要

碳化硅晶体测试仪偏摆夹具，包括支架，晶柱夹紧部分的电机输出轴通过同步带、两个同步带轮带动丝杠，丝杠的丝母固定连接活动支座，活动支座连接活动支架。活动支座同时与直线导轨副滑座固装一体。固定支座和固定支架固定。光栅尺位置调整部分位于固定支架和活动支架上方。光栅尺位置调整部分的光栅尺直线导轨副竖向安装在支架上，还有丝杠。光栅尺与光栅尺直线导轨副滑座及丝杠副的丝母相连接。光栅尺电机输出轴与丝杠副的丝杠相连。晶柱C方向摆转部分的马达输出轴与支架一端固定。还有另一侧转接轴和支撑轴承座。碳化硅晶体测试仪偏摆夹具，具有结构简单、使用方便、占用空间小、加工后碳化硅单晶晶片复检精度高等优点。

主权项

1.碳化硅晶体测试仪偏摆夹具，包括支架、晶柱夹紧部分、光栅尺位置调整部分及晶柱C方向摆转部分；其特征在于：晶柱夹紧部分：包括电机（5）、同步带（14）、主动同步带轮（15）、从动同步带轮、丝杠（22）、活动支座（16）、活动支架（17）和至少一个直线导轨副（23）；横向设置的电机（5）固定在支架右部；电机（5）输出轴上固定主动同步带轮（15），主动同步带轮（15）通过同步带（14）连接从动同步带轮；从动同步带轮固定在丝杠（22）一端部，丝杠（22）设置在支架右下侧；丝杠（22）的丝母固定连接活动支座（16），活动支座（16）下侧固定连接活动支架（17）；直线导轨副（23）位于丝杠（22）旁边，在支架右下侧；活动支座（16）同时与直线导轨副（23）滑座固装一体；固定支座（20）设置在支架下左侧，固定支架（19）固定连接固定支座（20）；固定支架（19）的夹持部和活动支架（17）的夹持部相对；光栅尺位置调整部分位于固定支架（19）的夹持部和活动支架（17）的夹持部上方；光栅尺位置调整部分包括，光栅尺直线导轨副（24）、丝杠副（29）、光栅尺电机（31）和光栅尺（27）；光栅尺直线导轨副（24）竖向安装在支架上；竖向设置的丝杠副（29）设置在支架上；光栅尺（27）与光栅尺直线导轨副（24）滑座及丝杠副（29）的丝母相连接；光栅尺电机（31）输出轴与丝杠副（29）的丝杠相连；光栅尺电机（31）壳体竖向固定支架上；晶柱C方向摆转部分：包括马达（2）；马达（2）输出轴与支架一端固定。