[实用新型]一种真空镀膜机靶前遮挡板传动密封装置有效
| 申请号： | 201820909690.6 | 申请日： | 2018-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN208701193U | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘强;骆水连;洪明;陈飞鹏;魏广;秦丽丽;李亚丽;夏成明 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 张洁;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜设备领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜机靶前挡板传动密封装置。所述装置包括驱动控制组件和波纹管传动密封装置；波纹管传动密封装置包括主动传力轴、转动接头、从动传力轴、密封波纹管、支撑壳体和法兰；其中，法兰的一端固定在真空腔室外壁上，另一端与支撑壳体连接，主动传力轴、转动接头、从动传力轴和密封波纹管位于支撑壳体中，密封波纹管的一端与转动接头连接，另一端与支撑壳体连接，主动传力轴穿过支撑壳体壁与驱动控制组件连接，从动传力轴位于密封波纹管中，从动传力轴的一端通过转动接头与主动传力轴连接，另一端穿过支撑壳体壁与挡板组件连接。所述装置可有效解决现有遮挡板传动密封装置中易泄露的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 传力轴 支撑壳体 传动密封装置 密封波纹管 转动接头 驱动控制组件 波纹管 法兰 磁控溅射镀膜机 真空镀膜设备 穿过 本实用新型 真空镀膜机 挡板组件 前遮挡板 有效解决 前挡板 遮挡板 真空腔 室外 泄露 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机靶前遮挡板传动密封装置，其特征在于：所述装置包括驱动控制组件(1)和波纹管传动密封装置(2)；波纹管传动密封装置(2)包括主动传力轴(21)、转动接头(22)、从动传力轴(23)、密封波纹管(24)、支撑壳体(25)和法兰(26)；其中，法兰(26)的一端固定在真空腔室(3)外壁上，另一端与支撑壳体(25)连接，主动传力轴(21)、转动接头(22)、从动传力轴(23)和密封波纹管(24)位于支撑壳体(25)中，密封波纹管(24)的一端与转动接头(22)连接，另一端与支撑壳体(25)连接，主动传力轴(21)穿过支撑壳体(25)壁与驱动控制组件(1)连接，从动传力轴(23)位于密封波纹管(24)中，从动传力轴(23)的一端通过转动接头(22)与主动传力轴(21)连接，另一端穿过支撑壳体(25)壁与真空腔室(3)中的挡板组件(4)连接。
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