[实用新型]显影系统有效
| 申请号： | 201820880202.3 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN208297929U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 潘布伟 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及显影技术领域，提供的一种显影系统包括：显影腔体，包括设置在显影腔体上部的排气口以及设置在显影腔体底部的排液口；喷淋装置，设置在显影腔体内部，用于向待显影基板喷洒显影液；至少一个排液坡，设置于显影腔体的底部，排液坡的后壁靠近显影腔体内壁设置，排液坡的坡面朝向排液口下滑延伸。本实用新型提供的显影系统一方面能够有效防止显影液中氢氧根离子(OH‑)浓度的降低，另一方面能够实现碱排气，保证了环境的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 显影腔体 显影系统 排液 本实用新型 排液口 显影腔 显影液 待显影基板 氢氧根离子 喷淋装置 显影技术 排气口 体内部 后壁 坡面 排气 喷洒 体内 延伸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种显影系统，其特征在于，包括：显影腔体(1)，包括设置在所述显影腔体(1)上部的排气口(11)以及设置在所述显影腔体(1)底部的排液口(12)；喷淋装置(2)，设置在所述显影腔体(1)内部，用于向待显影基板(3)喷洒显影液；至少一个排液坡(4)，设置于所述显影腔体(1)的底部，所述排液坡(4)的后壁靠近所述显影腔体(1)内壁设置，所述排液坡(4)的坡面朝向所述排液口(12)下滑延伸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820880202.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
