[实用新型]一种点激光平面度检测装置有效

专利信息
申请号: 201820840392.6 申请日: 2018-05-31
公开(公告)号: CN208171209U 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 王莹 申请(专利权)人: 深圳市松禾智能系统有限公司
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 深圳市华腾知识产权代理有限公司 44370 代理人: 彭年才
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种点激光平面度检测装置,其用于检测样品的平面度,包括冶具、三维调整装置和检测装置,冶具包括检测平台,三维调整装置包括X轴位移调整机构、Y轴位移调整机构和Z轴定位调整机构,Z轴定位检测机构包括定位装置,通过X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整所述检测平台的位置,Z轴定位调整机构上的定位装置定位到待检测样品位置后所述检测装置位移到待检测样品位置开始进行检测。通过X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整待检测样品的位置,定位装置开获取到定位位置,检测装置运动到定位位置点激光进行检测,实现检测的自动化和高效性,通过点激光检测样品的平面度进一步保证了检测结果的准确率和精准度。
搜索关键词: 调整机构 检测装置 待检测样品 检测 定位调整机构 三维调整装置 定位位置 定位装置 激光平面 平面度 冶具 定位检测机构 定位装置定位 本实用新型 激光检测 检测结果 检测样品 高效性 精准度 通过点 准确率 激光 自动化 保证
【主权项】:
1.一种点激光平面度检测装置,用于检测样品的平面度,其特征在于,包括冶具、三维调整装置和检测装置,所述冶具包括检测平台,所述三维调整装置包括X轴位移调整机构、Y轴位移调整机构和Z轴定位调整机构,所述Z轴定位检测机构包括定位装置,所述检测装置包括点激光,通过所述X轴位移调整机构和Y轴位移调整机构调整所述检测平台的位置,所述Z轴定位调整机构上的定位装置定位到待检测样品位置后,所述检测装置位移到待检测样品位置利用所述点激光进行检测。
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