[实用新型]一种超高真空法兰连接多头转接器

摘要

本实用新型公开了一种超高真空法兰连接多头转接器，包括转接器主体，转接器主体的上部设有螺纹孔法兰，螺纹孔法兰包括一个垂直设置的螺纹孔法兰一和四个倾斜设置的螺纹孔法兰二，螺纹孔法兰一位于中心，四个螺纹孔法兰二圆周均匀分布在螺纹孔法兰一的四周，且四个螺纹孔法兰二与螺纹孔法兰一相切，螺纹孔法兰一突出于四个螺纹孔法兰二之外，转接器主体的中部设有爪钩式沟槽，爪钩式沟槽与螺纹孔法兰相连接，转接器主体的底座设有通孔法兰。本实用新型通过通孔法兰与真空腔体密封，螺纹孔法兰根据需求安装一些检验探测设备，每个法兰部件都是独立的，相互之间的影响大大减小。同时结构紧凑，不仅能够优化复杂的真空体系，还能够减轻泵的负担。

主权项

1.一种超高真空法兰连接多头转接器，其特征在于，包括转接器主体，所述转接器主体的上部设有螺纹孔法兰，所述螺纹孔法兰包括一个垂直设置的螺纹孔法兰一和四个倾斜设置的螺纹孔法兰二，所述螺纹孔法兰二与螺纹孔法兰一之间的夹角为110°‑150°，所述螺纹孔法兰一位于中心，四个螺纹孔法兰二圆周均匀分布在螺纹孔法兰一的四周，且四个螺纹孔法兰二与螺纹孔法兰一相切，所述螺纹孔法兰一突出于四个螺纹孔法兰二之外，所述螺纹孔法兰的孔为螺纹孔，所述螺纹孔法兰的孔为盲孔，所述转接器主体的中部设有爪钩式沟槽，所述爪钩式沟槽与螺纹孔法兰相连接，所述转接器主体的底座设有通孔法兰，所述转接器采用不锈钢一体焊接成型。