[实用新型]一种探针台用吹屑机构有效
| 申请号： | 201820771728.8 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN208239573U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 季建松;何志强 | 申请（专利权）人： | 江阴佳泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;B08B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体晶圆测试领域，特别涉及一种探针台用吹屑机构，包括设于测试工位上的盖板，盖板上设有通孔，所述盖板上环绕通孔边缘设有凹槽，凹槽内环绕通孔设有凸块，凸块内设有空腔，凸块上设有接通气源的气管，气管与空腔接通，凸块上还设有朝向测试工位的气孔若干，气孔与空腔相通。本实用新型的目的是提供一种探针台用吹屑机构，其具有提高测试工位吹扫除屑效率的优点。本实用新型具有以下有益效果：提高了对测试工位吹扫除屑的速度和效果，间接提高了半导体晶圆的测试效率和质量；减轻了工人工作量，实用性较强，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 测试工位 凸块 本实用新型 吹屑机构 探针台 盖板 半导体晶圆 通孔 气管 环绕 扫除 工人工作量 测试领域 测试效率 空腔相通 通孔边缘 空腔 通气 接通 | ||
【主权项】：
1.一种探针台用吹屑机构，包括设于测试工位上的盖板（1），盖板（1）上设有通孔（11），其特征是：所述盖板（1）上环绕通孔（11）边缘设有凹槽（12），凹槽（12）内环绕通孔（11）设有凸块（2），凸块（2）内设有空腔（21），凸块（2）上设有接通气源的气管（3），气管（3）与空腔（21）接通，凸块（2）上还设有朝向测试工位的气孔（22）若干，气孔（22）与空腔（21）相通。
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