[实用新型]一种硅片研磨剂在线回用装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片研磨剂在线回用装置，包括主体外仓、第三过滤网和紧固环，所述主体外仓的内侧镶嵌有主体内仓，且主体内仓的底部连接有橡胶皮圈，所述主体内仓的内侧上端固定有第一过滤网，且第一过滤网的下方连接有第二过滤网，所述第三过滤网设置于主体内仓的内侧中下端，所述第三过滤网、第二过滤网和第一过滤网的左右两侧固定有连接卡扣。该硅片研磨剂在线回用装置设置有第一过滤网、第二过滤网和第三过滤网，能够使该装置实现多层过滤的功能，能够有效地过滤出研磨剂中含有的杂质，提高该装置过滤工作的效率，避免因过滤后的研磨剂不够充分，工作人员需要将研磨剂重新放入该装置进行过滤，增加工作人员的工作量。

主权项

1.一种硅片研磨剂在线回用装置，包括主体外仓（1）、第三过滤网（6）和紧固环（13），其特征在于：所述主体外仓（1）的内侧镶嵌有主体内仓（2），且主体内仓（2）的底部连接有橡胶皮圈（3），所述主体内仓（2）的内侧上端固定有第一过滤网（4），且第一过滤网（4）的下方连接有第二过滤网（5），所述第三过滤网（6）设置于主体内仓（2）的内侧中下端，所述第三过滤网（6）、第二过滤网（5）和第一过滤网（4）的左右两侧固定有连接卡扣（7），所述连接卡扣（7）的外端安装有半圆槽（8），且半圆槽（8）和连接卡扣（7）的连接处贯穿有第一固定螺栓（9），所述主体内仓（2））的左下端安装有出液口（10），且出液口（10）的外端固定有连接管道（11），所述紧固环（13）设置于连接管道（11）和出液口（10）的连接处，且紧固环（13）的右侧安装有控制阀（12），所述紧固环（13）的内壁上设置有海绵垫层（14），且紧固环（13）的左右两端贯穿有第二固定螺栓（15），所述主体外仓（1）的外侧正上方设置有主体盖板（16），且主体盖板（16）通过合页板（17）和主体外仓（1）相连接，所述主体盖板（16）的表面上方固定有排气柱（18），且排气柱（18）的顶部开设有排气口（19），所述主体盖板（16）的表面下方安装有进液口（20）。