[实用新型]一种深紫外窄带滤光片有效
| 申请号： | 201820723975.0 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN208207265U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 吴锜;佟瑶;窦琳 | 申请（专利权）人： | 德州尧鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/26 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 白莹;于正河 |
| 地址： | 253000 山东省德州市经济技术开*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于薄膜光学技术领域，涉及一种深紫外窄带滤光片及其制备方法，主体结构包括基底层、滤光片层、膜层和保护层，利用F‑P带通滤光膜的设计概念对金属‑介质组合的透射滤光片进行设计，选择串置金属‑介质滤光片来抑制长波区的旁通带，采用全介质滤光片来降低带宽，在双半波F‑P干涉滤光片结构(反射层/间隔层/反射层/间隔层/反射层/间隔层)基础上串置以高折射率材料/低折射率材料组成的多层膜结构形成结构简单的F‑P滤光片，实现在特定的深紫外波段的深度截止，通过改变滤光片层的形状，能够降低深紫外窄带滤光片的半带宽；其滤光片结构简单，保证了可见光的透过率和深度截止，降低了深紫外窄带滤光片的半带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 窄带滤光片 反射层 间隔层 带宽 滤光片层 滤光片 长波 截止 低折射率材料 高折射率材料 金属 本实用新型 多层膜结构 干涉滤光片 介质滤光片 滤光片结构 深紫外波段 透射滤光片 可见光 薄膜光学 主体结构 保护层 基底层 滤光膜 全介质 透过率 半波 带通 膜层 旁通 制备 保证 | ||
【主权项】：
1.一种深紫外窄带滤光片，其特征在于主体结构包括基底层、滤光片层、膜层和保护层；基底层的表面沉积有3层F‑P腔的滤光片层，最上层滤光片层的表面沉积有2n‑1层纯介质多腔滤光片的膜层，膜层的表面镀有保护层；滤光片层的主体结构包括滤光片层间隔层和反射层，反射层的上表面沉积滤光片层间隔层，滤光片层为双半波F‑P干涉滤光片结构；膜层的主体结构包括折射层和膜层间隔层，折射层的上表面沉积膜层间隔层。
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