[实用新型]一种快速光程扫描装置有效
申请号: | 201820707715.4 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN208091897U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 韩定安;曾亚光 | 申请(专利权)人: | 佛山科学技术学院 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 王国标 |
地址: | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种快速光程扫描装置,包括处理器、模数转换器、带通滤波器、SLD光源、平衡探测器、环形器、光纤耦合器、样品臂模块以及参考臂模块;所述样品臂模块包括偏振控制器、第一准直镜、光程模块以及正六面体。本实用新型通过正六面体以及后向反射镜的作用,使从光纤耦合器输出的光束在正六面体以及后向反射镜之间传播,装置的扫描深度大,另外相对于现有技术通过直线运动调节光程,本实用新型通过电机转动正六面体,以调节参考臂光束传递的光程,调节速度快,且本装置整体结构简单,易于实现,成本低。 | ||
搜索关键词: | 光程 正六面体 本实用新型 光纤耦合器 扫描装置 参考臂 反射镜 样品臂 后向 带通滤波器 模数转换器 偏振控制器 平衡探测器 电机转动 光束传递 环形器 准直镜 处理器 扫描 输出 传播 | ||
【主权项】:
1.一种快速光程扫描装置,其特征在于:包括处理器、模数转换器、带通滤波器、SLD光源、平衡探测器、环形器、光纤耦合器、样品臂模块以及参考臂模块;所述环形器配置有输入端、第一输出端以及第二输出端,所述环形器从输入端输入的光信号先后传输到第一输出端以及第二输出端,所述光纤耦合器配置有信号输入端、干涉信号输出端以及两个信号分支端;所述SLD光源与环形器输入端相连,所述环形器的第一输出端与光纤耦合器的信号输入端相连,所述光纤耦合器的两个信号分支端分别与样品臂模块以及参考臂模块相连,所述光纤耦合器干涉信号输出端以及环形器第二输出端分别与平衡探测器输入端相连,所述平衡探测器输出端与带通滤波器输入端相连,所述带通滤波器输出端与模数转换器输入端相连,所述模数转换器输出端与处理器输入端相连;所述样品臂模块包括偏振控制器、第一准直镜(1)、光程模块、正六面体(4)以及驱动正六面体(4)转动的电机,所述正六面体(4)的四个侧面均贴有增透膜和增反膜,所述光程模块包括后向反射镜(3)以及耦合反射镜(2),所述光纤耦合器的一个信号分支端所输出的光束先后通过偏振控制器以及第一准直镜(1)进入到正六面体(4)内,经过正六面体(4)内部反射,光束从正六面体(4)出射到达后向反射镜(3),经过后向反射镜(3)平移反射,重新进入到正六面体(4)内,再次经过正六面体(4)内部反射,光束从正六面体(4)出射到达耦合反射镜(2),经耦合反射镜(2)反射的光束通过第一准直镜(1)进入到光纤耦合器的信号分支端。
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