[实用新型]一种用于电沉积加工平面件的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于电沉积加工平面件的装置，包括外槽、设置于外槽内的内槽、阴极基底、搅拌板、竖直设置于内槽内的阳极和稳流板。所述的阴极基底竖直设置于外槽内侧壁上，与内槽的不封闭口正对；所述的搅拌板设置于内槽的不封闭口与阴极基底之间，且与阴极基底平行正对放置。此装置工作时，搅拌板作周向平动运动，内槽壁面对阴极基底周边流场的影响被减弱，从而改善了阴极基底表面流场分布。此装置极大地改善了平面电沉积件厚度分布的均匀性。

主权项

1.一种用于电沉积加工平面件的装置，包括外槽（1）、设置于外槽（1）内的内槽（2）、阴极基底（5）、搅拌板（4）、竖直设置于内槽（2）内的阳极（6）和稳流板（3），其特征在于：所述的内槽（2）为由三个槽壁围成的、含有不封闭口（2‑1）的长方体形槽；所述的阴极基底（5）竖直设置于外槽内侧壁（1‑1）上；所述的阴极基底（5）与不封闭口（2‑1）正对；所述的搅拌板（4）为长方形薄板，设置于不封闭口（2‑1）与阴极基底（5）之间，且与阴极基底（5）平行正对放置；所述的搅拌板（4）距阴极基底（5）的距离可调，且搅拌板（4）的面积大于阴极基底（5）的面积；所述的稳流板（3）设置于内槽（2）的不封闭口（2‑1）处，且与阴极基底（5）平行；所述的不封闭口（2‑1）距阴极基底（5）的距离可调。