[实用新型]一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置有效
| 申请号： | 201820703672.2 | 申请日： | 2018-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN208353690U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 詹铁锤;程光周;倪红德;薛进 | 申请（专利权）人： | 合肥杰硕真空科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，包括射频电感耦合等离子体反应装置，其特征在于，所述射频电感耦合等离子体反应装置包括：石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件，所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口，所述真空气路接口上方连接真空规，所述真空气路接口与真空规通过三通管件连接，本实用新型是一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，结构简单、制造容易、成本较低，方便制备与推广。 | ||
| 搜索关键词： | 射频电感耦合 等离子体制备 纳米材料 真空气路 等离子体反应装置 本实用新型 固定法兰 真空规 螺线管型线圈 三通管件 氩气接口 石英管 源气体 制备 制造 | ||
【主权项】：
1.一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，包括射频电感耦合等离子体反应装置，其特征在于，所述射频电感耦合等离子体反应装置包括：石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件，所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口，所述真空气路接口上方连接真空规，所述真空气路接口与真空规通过三通管件连接。
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