[实用新型]一种线性蒸发源以及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820700180.8 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208632631U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 邓星辰 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的线性蒸发源以及蒸镀设备，包括：多个并排排列的坩埚，反射板，设置在所述坩埚的两侧，所述反射板包括相对设置的第一子反射板和第二子反射板，所述第一子反射板的长度大于所述第二子反射板的长度；其中，所述第一子反射板上间隔设置有多个第一过孔以及，所述第二子反射板上间隔设置有多个第二过孔。通过在坩埚的两侧设置第一子反射板以及第二子反射板，并且在第一子反射板上设置多个第一过孔，以及在第二子反射板上设置多个第二过孔，达到了调节坩埚温度时不需要打开蒸镀腔室的目的，因此提高了生产效率，从而提高了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 反射板 坩埚 线性蒸发源 间隔设置 蒸镀设备 本实用新型 并排排列 两侧设置 生产效率 相对设置 蒸镀腔室 产能 | ||
【主权项】：
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：多个并排排列的坩埚；反射板，设置在所述坩埚的两侧，所述反射板包括相对设置的第一子反射板和第二子反射板，所述第一子反射板的长度大于所述第二子反射板的长度；其中，所述第一子反射板上间隔设置有多个第一过孔以及，所述第二子反射板上间隔设置有多个第二过孔。
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