[实用新型]一种新型合金靶材有效
| 申请号： | 201820698651.6 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208183064U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 臧龙杰 | 申请（专利权）人： | 昆山世高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种新型合金靶材，Mo‑Mb膜上层设有介质层，介质层上层设有反射层，反射层外表面设有保护漆，本实用新型的合金靶材内含有Mo‑Mb合金膜，所以不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。 | ||
| 搜索关键词： | 本实用新型 新型合金 反射层 介质层 靶材 上层 合金靶材 合金膜 变色 金属 | ||
【主权项】：
1.一种新型合金靶材，其特征在于，包括靶材、Mo‑Mb膜、介质层、反射层、保护漆，所述靶材上层覆盖Mo‑Mb膜，所述Mo‑Mb膜上层设有介质层，所述介质层上层设有反射层，所述反射层外表面设有保护漆。
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