[实用新型]真空镀膜机冷却结构有效
申请号: | 201820671953.4 | 申请日: | 2018-05-04 |
公开(公告)号: | CN208201088U | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 潘燕萍 | 申请(专利权)人: | 常州市乐萌压力容器有限公司 |
主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00;C23C14/52 |
代理公司: | 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 32294 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜机冷却结构领域,尤其涉及真空镀膜机冷却结构。通过侧门本体正面中央上分别设有第一观察镜组和第二观察镜组,第一观察镜组包括从上到下依次设有的三个第一观察镜,第二观察镜组包括从上到下依次设有的两个第二观察镜;所述侧门本体背面设有冷却盘管,该冷却盘管由若干横管、若干第一圆弧管和若干第二圆弧管组成;所述第一圆弧管位于第一观察镜组外,第二圆弧管位于第二观察镜组外;所述第一圆弧管与第二圆弧管相对的端部由横管连接,且位于最顶端和最底端的第二圆弧管外侧端均连接有横管;使真空镀膜机冷却结构冷却效果好。 | ||
搜索关键词: | 圆弧管 观察镜组 真空镀膜机 冷却结构 横管 从上到下 冷却盘管 侧门 观察镜 本实用新型 冷却效果 外侧端 最顶端 背面 | ||
【主权项】:
1.真空镀膜机冷却结构,其特征在于,包括侧门本体,该侧门本体正面上设有弯曲盘旋状的盘管,该盘管的两个端部均位于侧门本体底部;所述侧门本体正面中央上分别设有第一观察镜组和第二观察镜组,第一观察镜组包括从上到下依次设有的三个第一观察镜,第二观察镜组包括从上到下依次设有的两个第二观察镜;所述侧门本体背面设有冷却盘管,该冷却盘管由若干横管、若干第一圆弧管和若干第二圆弧管组成;所述第一圆弧管位于第一观察镜组外,第二圆弧管位于第二观察镜组外;所述第一圆弧管与第二圆弧管相对的端部由横管连接,且位于最顶端和最底端的第二圆弧管外侧端均连接有横管。
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