[实用新型]一种显影烘烤机的冷热盘有效
| 申请号： | 201820599604.6 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN208239800U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 薛文卿 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人： | 郭伟红 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种显影烘烤机的冷热盘，包括加热烘烤盘与冷却盘，所述加热烘烤盘的一端外表面设置有顶部加热板，且加热烘烤盘的另一端外表面设置有承接基板装置，所述顶部加热板上设置有碲化铋N型半导体与碲化铋P型半导体，所述承接基板装置的内部安装有基板承接顶针、工艺定位顶针与测温带，且承接基板装置的外表面设置有隔热板，所述加热烘烤盘通过隔热板分割成上半部分与下半部分，且上半部分固定安装在支架上，所述上半部分位置固定不变。本实用新型结构简单，采用碲化铋N型及P型半导体发热、发冷组件作为显影前烘烤和冷却用能量源，既解决了温控不均匀的问题，也节省了辅机的动力维持和维修保养费用。 | ||
| 搜索关键词： | 加热烘烤 承接基板 碲化铋 显影 本实用新型 隔热板 烘烤机 加热板 冷热盘 顶针 位置固定不变 部分固定 定位顶针 内部安装 维修保养 不均匀 冷却盘 能量源 烘烤 辅机 基板 温控 支架 发热 冷却 承接 分割 | ||
【主权项】：
1.一种显影烘烤机的冷热盘，包括加热烘烤盘(1)与冷却盘(2)，其特征在于，所述加热烘烤盘(1)的一端外表面设置有顶部加热板(3)，且加热烘烤盘(1)的另一端外表面设置有承接基板装置(8)，所述顶部加热板(3)上设置有碲化铋N型半导体(4)与碲化铋P型半导体(5)，所述承接基板装置(8)的内部安装有基板承接顶针(6)、工艺定位顶针(7)与测温带(10)，且承接基板装置(8)的外表面设置有隔热板(9)，所述加热烘烤盘(1)通过隔热板(9)分割成上半部分(13)与下半部分(11)，且上半部分(13)固定安装在支架上，所述上半部分(13)位置固定不变，所述下半部分(11)安装在气缸滑杆上，所述加热烘烤盘(1)与冷却盘(2)之间设置有限位传感器(12)，所述上半部分(13)与下半部分(11)之间设置有调温进气装置(14)与排风装置(15)，且调温进气装置(14)位于排风装置(15)的上方，所述冷却盘(2)位于加热烘烤盘(1)的上方。
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