[实用新型]可拆卸式的不同材料组件结合型的热蒸发舟

摘要

本实用新型提供一种可拆卸式的不同材料组件结合型的热蒸发舟，是一种经济高效的可拆卸式二金属结合热蒸发舟，能应用于真空镀膜领域中使用的加热器具。传统的一体式如全钽的热蒸发舟价格昂贵且电能在电极处会产生大量不必要消耗。本实用新型结合在高温下电阻相对大、熔点高与价格便宜、熔点高且高温下电阻相对较小的金属特点，将前者用作蒸发舟凹槽部分的材料，后者用作电极处材料二者结合起来制成了二金属结合可拆卸式的蒸发舟。此种蒸发舟成本低，且由于材料在高温下的电阻属性及电极材料厚度大于凹槽材料的厚度，可减少电能在电极处不必要损失。电极与凹槽处采用螺丝及压片固定，当凹槽破损后方便拆卸更换，且电极不易损坏可多次循环使用。

主权项

1.一种可拆卸式的不同材料组件结合型的热蒸发舟，包括蒸发舟凹槽(2)和蒸发舟电极(1)，其特征在于：采用较蒸发舟凹槽(2)材料价格便宜、熔点高且高温下电阻相对小的金属制成蒸发舟电极(1)形状组件，采用较蒸发舟电极(1)材料熔点高且高温下电阻相对大的金属制成蒸发舟凹槽(2)形状组件，采用金属材料制成压片(3)，采用压片(3)将蒸发舟凹槽(2)和蒸发舟电极(1)进行可拆卸式的连接，为蒸发舟凹槽(2)配套安装可拆卸式的多孔蒸发舟盖子(5)。