[实用新型]一种基于晶圆测试设计的探针卡基板

摘要

本实用新型提供一种基于晶圆测试设计的探针卡基板，包括植针区域、测试源模块、继电器模块和熔丝模块。所述植针区域分别与测试源模块、继电器模块和熔丝模块连接，所述植针区域设有若干个用于对晶圆测试产品进行植针的植针点。所述测试源模块包括若干个测试接口且所述测试源模块包括与若干个型号的测试平台相匹配的测试资源。所述继电器模块与测试机上的继电器控制位连接，所述熔丝模块通过排线与熔丝板连接。通过本实用新型，以解决现有技术存在的探针卡基板不能通用、晶圆检测成本高、效率低以及探针卡基板不能同时进行熔丝的问题。

主权项

1.一种基于晶圆测试设计的探针卡基板，其特征在于，包括植针区域(1)、测试源模块(2)、继电器模块(3)和熔丝模块(4)，所述植针区域(1)分别与测试源模块(2)、继电器模块(3)和熔丝模块(4)连接，所述植针区域(1)设有若干个用于对晶圆测试产品进行植针的植针点，所述测试源模块(2)包括若干个测试接口且所述测试源模块(2)包括与若干个型号的测试平台相匹配的测试资源，所述继电器模块(3)与测试源模块(2)连接且所述继电器模块(3)与测试平台上的继电器控制位连接，所述熔丝模块(4)通过排线与熔丝板连接。