[实用新型]一种柔性衬底的吸盘装置有效
申请号: | 201820426436.0 | 申请日: | 2018-03-28 |
公开(公告)号: | CN208245101U | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 邱任拯 | 申请(专利权)人: | 邱任拯 |
主分类号: | B05C13/02 | 分类号: | B05C13/02;F16B47/00 |
代理公司: | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人: | 李玉峰 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种柔性衬底的吸盘装置,包括支撑体和吸附板面;所述吸附板面位于支撑体的上表面,吸附板面上设置有以呈通孔的吸附微孔均匀排布形成的微孔阵列,所述吸附微孔的孔径小于2mm。本实用新型通过减小孔径、且以均匀排布形成的微孔阵列作为吸附板面,有效实现了均匀吸附和高度平整,从而有利于实现柔性器件的均匀镀膜、精确加工和装配。 | ||
搜索关键词: | 吸附板 本实用新型 均匀排布 微孔阵列 吸盘装置 支撑体 衬底 微孔 吸附 均匀镀膜 均匀吸附 柔性器件 有效实现 上表面 减小 通孔 装配 平整 加工 | ||
【主权项】:
1.一种柔性衬底的吸盘装置,其特征在于:包括支撑体(3)和吸附板面(4);所述吸附板面(4)位于支撑体(3)的上表面,吸附板面(4)上设置有以呈通孔的吸附微孔(4a)均匀排布形成的微孔阵列,所述吸附微孔(4a)的孔径小于2mm。
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