[实用新型]一种柔性衬底的吸盘装置有效

专利信息
申请号: 201820426436.0 申请日: 2018-03-28
公开(公告)号: CN208245101U 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 邱任拯 申请(专利权)人: 邱任拯
主分类号: B05C13/02 分类号: B05C13/02;F16B47/00
代理公司: 广州广信知识产权代理有限公司 44261 代理人: 李玉峰
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种柔性衬底的吸盘装置,包括支撑体和吸附板面;所述吸附板面位于支撑体的上表面,吸附板面上设置有以呈通孔的吸附微孔均匀排布形成的微孔阵列,所述吸附微孔的孔径小于2mm。本实用新型通过减小孔径、且以均匀排布形成的微孔阵列作为吸附板面,有效实现了均匀吸附和高度平整,从而有利于实现柔性器件的均匀镀膜、精确加工和装配。
搜索关键词: 吸附板 本实用新型 均匀排布 微孔阵列 吸盘装置 支撑体 衬底 微孔 吸附 均匀镀膜 均匀吸附 柔性器件 有效实现 上表面 减小 通孔 装配 平整 加工
【主权项】:
1.一种柔性衬底的吸盘装置,其特征在于:包括支撑体(3)和吸附板面(4);所述吸附板面(4)位于支撑体(3)的上表面,吸附板面(4)上设置有以呈通孔的吸附微孔(4a)均匀排布形成的微孔阵列,所述吸附微孔(4a)的孔径小于2mm。
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