[实用新型]一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备有效

专利信息
申请号: 201820425795.4 申请日: 2018-03-28
公开(公告)号: CN208100042U 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: 伍温良 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: B24B21/02 分类号: B24B21/02;B24B21/18;B24B21/20
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 林晓宏
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备,包括机架、装夹装置和抛光装置,装夹装置和抛光装置分别安装于机架之上,抛光装置包括有一滑动底座和横向驱动机构,滑动底座滑动安装于机架,横向驱动机构传动连接滑动底座,滑动底座的上部旋转安装有一摆臂,摆臂安装有能够替换使用的抛光带,摆臂安装有抛光电机,抛光电机传动连接抛光带,以实现抛光带循环移动,使用具有横向调节功能的抛光装置,实现长度较长的旋转靶材的整管抛光;利用抛光电机驱动可替换使用的抛光带发生循环移动,以对旋转靶材的靶材表面进行均匀且精度高的抛光打磨。
搜索关键词: 滑动底座 抛光装置 抛光带 抛光电机 摆臂 横向驱动机构 外圆抛光设备 传动连接 旋转靶材 循环移动 装夹装置 高纯铜 旋转靶 本实用新型 靶材表面 横向调节 滑动安装 抛光打磨 旋转安装 抛光 可替换 整管 替换 驱动
【主权项】:
1.一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备,包括机架、用于装夹旋转靶的装夹装置和抛光装置,装夹装置和抛光装置分别安装于机架之上,其特征在于:抛光装置包括有一滑动底座(2)和横向驱动机构,滑动底座(2)滑动安装于机架,横向驱动机构传动连接滑动底座(2),滑动底座(2)的上部旋转安装有一摆臂(1),摆臂(1)安装有能够替换使用的抛光带(11),摆臂(1)安装有抛光电机(13),抛光电机(13)传动连接抛光带(11),以实现抛光带(11)循环移动。
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