[实用新型]一种防止泛油的油扩散泵有效
| 申请号： | 201820423244.4 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN208791747U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 朱民稷 | 申请（专利权）人： | 苏州市唯嘉光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 215107 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防止泛油的油扩散泵，包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管，所述泵体内设置有装油槽，所述装油槽的上方设置有蒸汽导管，所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴，所述喷射喷嘴连接有出气管，所述装油槽的下方设置有加热装置，所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置，所述泵体上缠绕有螺旋管，所述螺旋管的一端连接制冷装置。本实用新型所提供的一种防止泛油的油扩散泵，冷却温度降低较大，防止扩散泵泛油的效果明显，整个系统可靠、耐用，实现起来比较方便，不必对整个镀膜机的真空系统作改动。 | ||
| 搜索关键词： | 油槽 泛油 喷射喷嘴 油扩散泵 蒸汽导管 本实用新型 加热装置 出气管 螺旋管 泵体 保温装置 扩散喷嘴 温度降低 一端连接 真空系统 制冷装置 镀膜机 扩散泵 缠绕 冷却 体内 | ||
【主权项】：
1.一种防止泛油的油扩散泵，其特征在于，包括泵体、蒸汽导管、装油槽、扩散喷嘴、喷射喷嘴和出气管，所述泵体内设置有装油槽，所述装油槽的上方设置有蒸汽导管，所述蒸汽导管的右侧设置有喷射喷嘴，所述喷射喷嘴连接有出气管，所述装油槽的下方设置有加热装置，所述装油槽及加热装置的四周设置有保温装置，所述泵体上缠绕有螺旋管，所述螺旋管的一端连接制冷装置。
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