[实用新型]一种研磨盘的修整盘有效
申请号: | 201820338319.9 | 申请日: | 2018-03-13 |
公开(公告)号: | CN208084147U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 王永成 | 申请(专利权)人: | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
主分类号: | B24B53/12 | 分类号: | B24B53/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种研磨盘的修整盘,研磨盘用于研磨抛光机,所述修整盘包括:压力盘;与压力盘固定贴合的基座;基座的底面贴有基片;以及多片贴在基片上的砂纸。砂纸是金刚石砂纸。砂纸沿着基座底面的边缘均匀排列。本实用新型通过将金刚石砂纸小片化,降低了研磨盘的修整盘成本较高的问题。 | ||
搜索关键词: | 修整盘 研磨盘 砂纸 金刚石砂纸 压力盘 本实用新型 研磨抛光机 固定贴合 均匀排列 底面 多片 | ||
【主权项】:
1.一种研磨盘的修整盘,所述研磨盘用于研磨抛光机,其特征在于,所述修整盘包括:压力盘;与压力盘固定贴合的基座;基座的底面贴有基片;以及多片贴在基片上的砂纸。
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