[实用新型]一种晶片研磨装置有效
| 申请号： | 201820328322.2 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN208117546U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 周朱华;王祖勇 | 申请（专利权）人： | 嘉兴晶控电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 李伊飏 |
| 地址： | 314000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶片研磨装置，包括底座，底座内设置有驱动电机，底座上转动设置有若干成排设置的转轴，转轴通过皮带与皮带轮配合与驱动电机相连，转轴上固定设置有铁质的研磨盘，研磨盘上下表面均设置有晶片固定槽，研磨盘下方的转轴上活动套设有下研磨块，下研磨块下方的转轴上固定有限位板，下研磨块上两侧设置有定位杆，研磨盘上方的转轴上活动套设有上研磨块，上研磨块上两侧设置有与定位杆匹配的定位孔，下研磨块和上研磨块内均设置有永磁铁圈，下研磨块的上表面和上研磨块的下表面均设置有研磨层，研磨层的横截面面积大于研磨盘的横截面面积；本实用新型结构简单，操作简单、方便，具有研磨质量好，效率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 转轴 研磨盘 底座 本实用新型 两侧设置 驱动电机 研磨装置 定位杆 活动套 研磨层 种晶 成排设置 固定设置 晶片固定 上下表面 永磁铁圈 转动设置 定位孔 皮带轮 上表面 下表面 皮带 铁质 匹配 配合 | ||
【主权项】：
1.一种晶片研磨装置，其特征在于：包括底座，底座内设置有驱动电机，底座上转动设置有若干成排设置的转轴，转轴通过皮带与皮带轮配合与驱动电机相连，转轴上固定设置有铁质的研磨盘，研磨盘上下表面均设置有晶片固定槽，研磨盘下方的转轴上活动套设有下研磨块，下研磨块下方的转轴上固定有限位板，下研磨块上两侧设置有定位杆，研磨盘上方的转轴上活动套设有上研磨块，上研磨块上两侧设置有与定位杆匹配的定位孔，下研磨块和上研磨块内均设置有永磁铁圈，下研磨块的上表面和上研磨块的下表面均设置有研磨层，研磨层的横截面面积大于研磨盘的横截面面积。
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