[实用新型]一种新型真空蚀刻机有效
申请号: | 201820290320.9 | 申请日: | 2018-03-02 |
公开(公告)号: | CN207877866U | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 方传俅 | 申请(专利权)人: | 惠州市丰达兴电子有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;H05K3/06 |
代理公司: | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人: | 张汉青 |
地址: | 516000 广东省惠州市仲恺*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型真空蚀刻机,包括蚀刻机、壳体、底座、支撑腿、药水槽,所述蚀刻机外面设置有所述壳体,所述蚀刻机下面设置有所述底座,所述底座下面设置有所述支撑腿,所述底座上面设置有所述药水槽,所述蚀刻机中间设置有连接块,所述连接块上面设置有上输送滚轮,所述上输送滚轮下面设置有下输送滚轮,所述上输送滚轮旁边设置有吸液刀,所述上输送滚轮上面设置有上喷淋头,所述下输送滚轮下面设置有下喷淋头,所述蚀刻机旁边设置有真空泵,所述真空泵下面设置有支架,所述真空泵上面设置有真空管。有益效果在于:该新型真空蚀刻机结构简单,蚀刻速度快,蚀刻均匀,药水能够及时排出,并且通过真空泵可实现重复的利用,节约成本。 | ||
搜索关键词: | 蚀刻机 输送滚轮 真空泵 底座 新型真空 蚀刻 药水槽 支撑腿 壳体 真空管 本实用新型 中间设置 排出 上喷 吸液 下喷 药水 支架 节约 重复 | ||
【主权项】:
1.一种新型真空蚀刻机,其特征在于:包括蚀刻机(1)、壳体(2)、底座(3)、支撑腿(4)、药水槽(5),所述蚀刻机(1)外面设置有所述壳体(2),所述蚀刻机(1)下面设置有所述底座(3),所述底座(3)下面设置有所述支撑腿(4),所述底座(3)上面设置有所述药水槽(5),所述蚀刻机(1)中间设置有连接块(10),所述连接块(10)上面设置有上输送滚轮(6),所述上输送滚轮(6)下面设置有下输送滚轮(7),所述上输送滚轮(6)旁边设置有吸液刀(15),所述上输送滚轮(6)上面设置有上喷淋头(8),所述下输送滚轮(7)下面设置有下喷淋头(9),所述蚀刻机(1)旁边设置有真空泵(11),所述真空泵(11)下面设置有支架(13),所述真空泵(11)上面设置有真空管(12),所述真空泵(11)旁边设置有出液管(16),所述出液管(16)下面设置有进液管(17),所述出液管(16)上面设置有导气管(18),所述导气管(18)上面设置有射流器(14)。
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