[实用新型]一种用于真空镀膜的氢气产生装置有效

专利信息
申请号: 201820185236.0 申请日: 2018-02-02
公开(公告)号: CN207877875U 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 王德智;戴秀海;范滨;谢雄星 申请(专利权)人: 光驰科技(上海)有限公司
主分类号: C25B1/04 分类号: C25B1/04;C25B9/00;B01D53/26
代理公司: 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 代理人: 徐小蓉
地址: 200444 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及薄膜制备技术领域,尤其是一种用于真空镀膜的氢气产生装置,其特征在于:所述装置至少包括水箱、电解槽、气水分离器以及至少两个净化缸,其中所述水箱一端为进水口,另一端与所述电解槽连通,所述电解槽连接所述气水分离器,所述气水分离器并联所述净化缸,所述净化缸具有出气口。本实用新型的优点是:实现了无需使用变色硅胶的氢气净化,并且通过净化器间的控制切换实现了无人值守,实现了自动化;目通过净化器间切换,一路净化器进行工作,一路净化器进行再生吹扫,压力实现自动控制来实现除水干燥;对再生吹扫排出的氢气利用反应装置转换为水重新排至水槽,实现可循环再生。
搜索关键词: 净化器 气水分离器 电解槽 氢气产生装置 本实用新型 真空镀膜 水箱 再生 吹扫 净化 水槽 薄膜制备技术 变色硅胶 反应装置 控制切换 氢气净化 氢气利用 无人值守 出气口 进水口 可循环 并联 除水 排出 连通 自动化 转换
【主权项】:
1.一种用于真空镀膜的氢气产生装置,其特征在于:所述装置至少包括水箱、电解槽、气水分离器以及至少两个净化缸,其中所述水箱一端为进水口,另一端与所述电解槽连通,所述电解槽连接所述气水分离器,所述气水分离器并联所述净化缸,所述净化缸具有出气口。
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