[实用新型]一种具有挡碳渣板的防溢流多晶硅铸锭炉有效

专利信息
申请号: 201820182650.6 申请日: 2018-02-02
公开(公告)号: CN208023109U 公开(公告)日: 2018-10-30
发明(设计)人: 张建青;贾二雷;顾丽娟 申请(专利权)人: 天津市宇航兴达真空设备制造有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 代理人: 张强
地址: 301822 天津市宝坻区宝坻节能环保工业区天*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型是一种具有挡碳渣板的防溢流多晶硅铸锭炉,包括炉体,炉体内设有保温笼体,保温笼体上、下两端分别设有保温顶板和带有支柱的保温底板,保温底板上方通过支柱固定有热交换台,热交换台上放置有石墨坩埚,石墨坩埚内设有石英坩埚,石英坩埚顶部设有阶梯形连接台,阶梯形连接台上设有防溢流石英斗,保温顶板底部边缘设有圆环形挡碳渣板,圆环形挡碳渣板内部中空且填充有相变材料,石墨坩埚侧壁外均布有加热装置,石墨坩埚外侧壁与保温笼体之间设有保温隔板,保温笼体顶部两端连有提升杆。本实用新型可以有效防止硅液溢流,有利于安全生产,同时能够防止保温笼体提升时和保温顶板摩擦导致碳渣落入硅液中对产品品质的破坏。
搜索关键词: 保温笼体 碳渣 保温顶板 石墨坩埚 防溢流 多晶硅铸锭炉 本实用新型 阶梯形连接 保温底板 石英坩埚 圆环形 硅液 热交换 石墨坩埚侧壁 保温隔板 产品品质 底部边缘 加热装置 热交换台 相变材料 板内部 提升杆 外侧壁 中空 均布 炉体 石英 溢流 填充 摩擦 安全生产 体内
【主权项】:
1.一种具有挡碳渣板的防溢流多晶硅铸锭炉,其特征在于,包括炉体(1),所述炉体(1)内设有保温笼体(2),所述保温笼体(2)上、下两端分别设有保温顶板(3)和带有支柱(4)的保温底板(5),所述保温底板(5)上方通过支柱(4)固定有热交换台(6),所述热交换台(6)上放置有石墨坩埚(7),所述石墨坩埚(7)内设有石英坩埚(8),所述石墨坩埚(7)的高度高于所述石英坩埚(8)的高度,所述石英坩埚(8)顶部设有阶梯形连接台(9),所述阶梯形连接台(9)上设有防溢流石英斗(10),所述保温顶板(3)顶部通过固定杆(11)固定在炉体(1)内壁上,所述保温顶板(3)底部边缘设有圆环形挡碳渣板(12),所述圆环形挡碳渣板(12)的底部高度低于所述石墨坩埚(7)的高度,所述圆环形挡碳渣板(12)内部中空且填充有相变材料,所述石墨坩埚(7)侧壁外均布有加热装置(13),所述加热装置(13)连有电源,所述石墨坩埚(7)外侧壁与保温笼体(2)之间设有保温隔板(14),所述保温隔板(14)通过连接杆与保温顶板(3)底面相连,所述保温笼体(2)顶部两端连有提升杆(15),所述提升杆(15)伸出所述炉体(1)顶部且连有提升动力装置。
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