[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201820182585.7 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN208023108U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王晓露;皋青松;皋古胜 | 申请（专利权）人： | 天津市宇航兴达真空设备制造有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 301822 天津市宝坻区宝坻节能环保工业区天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉，包括炉体，炉体的内部底端设有气缸，气缸的上端通过活塞杆连有隔热板，隔热板的上方中部放有坩埚，坩埚的底部设置为向下凸的弧形结构，坩埚的底部内壁上设有若干凸点，坩埚的外壁上缠绕有螺旋盘管式加热电极，坩埚的底部设有冷却腔，隔热板的上方坩埚的四周设有护板，护板的上端从上到下依次设有上盖板和下盖板，下盖板设置在坩埚的上端，上盖板与下盖板之间的护板上设有出气通道，上盖板的中部设有进气管，炉体的一侧设有出气管。本实用新型提供的多晶硅铸锭炉能防止外界杂质进入坩埚内的硅熔体；而且坩埚底部弧形结构和凸点的设置，不仅能保证坩埚底部中间和边缘的温度差，还能抑制枝晶的生长。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 多晶硅铸锭炉 隔热板 上盖板 下盖板 上端 护板 炉体 本实用新型 弧形结构 气缸 凸点 螺旋盘管式 出气通道 从上到下 底部内壁 加热电极 外界杂质 出气管 硅熔体 活塞杆 进气管 冷却腔 温度差 底端 外壁 枝晶 缠绕 生长 保证 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅铸锭炉，包括炉体(1)，炉体(1)的顶端设有炉盖(2)，其特征在于，炉体(1)的内部底端设有气缸(3)，气缸(3)的上端通过活塞杆(4)连有隔热板(5)，隔热板(5)的上方中部放有坩埚(6)，坩埚(6)的底部设置为向下凸的弧形结构，坩埚(6)的底部内壁上设有若干凸点(7)，坩埚(6)的外壁上缠绕有螺旋盘管式加热电极(8)，螺旋盘管式加热电极(8)的外部设有隔热保温层，坩埚(6)的底部设有冷却腔(9)，冷却腔(9)内设有冷却流道(10)，隔热板(5)的上方坩埚(6)的四周设有护板(11)，护板(11)的上端从上到下依次设有上盖板(12)和下盖板(13)，下盖板(13)设置在坩埚(6)的上端，上盖板(12)与下盖板(13)之间的护板(11)上设有出气通道(14)，上盖板(12)的中部设有进气管(15)，炉体(1)的一侧设有出气管(16)。
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