[实用新型]一种激光溅射离子源有效
| 申请号： | 201820178108.3 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN207752964U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 徐春风;胡修稳;张锋 | 申请（专利权）人： | 合肥美亚光电技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/14 | 分类号： | H01J49/14;H01J49/10 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 丁瑞瑞 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光溅射离子源，该离子源包括靶体、离子通道、脉冲阀、激光器，所述离子通道与脉冲阀固定在安装座上，所述的离子通道连接脉冲阀，所述的离子通道上设有通光孔，所述的激光器出射的激光通过通光孔打在靶体的轰击面，所述靶体外周套设有靶体套筒，靶体套筒通过靶体安装座与驱动机构连接，所述驱动机构包括带动靶体横向往复移动的第一驱动机构和带动靶体纵向往复移动的第二驱动机构；所述靶体套筒内还设有弹力单元，所述弹力单元的一端与远离靶体轰击面的一端抵接，另一端与靶体安装座抵接，实现靶体的轰击面紧贴离子通道。 | ||
| 搜索关键词： | 靶体 离子通道 驱动机构 安装座 脉冲阀 套筒 轰击 溅射离子源 弹力单元 激光 激光器 通光孔 抵接 第一驱动机构 横向往复移动 纵向往复移动 本实用新型 离子源 出射 外周 紧贴 | ||
【主权项】：
1.一种激光溅射离子源，包括靶体、离子通道、脉冲阀、激光器，所述离子通道与脉冲阀固定在安装座上，所述的离子通道连接脉冲阀，所述的离子通道上设有通光孔，所述的激光器出射的激光通过通光孔打在靶体的轰击面，其特征在于，所述靶体外周套设有靶体套筒，靶体套筒通过靶体安装座与驱动机构连接，所述驱动机构包括带动靶体横向往复移动的第一驱动机构和带动靶体纵向往复移动的第二驱动机构；所述靶体套筒内还设有弹力单元，所述弹力单元的一端与远离靶体轰击面的一端抵接，另一端与靶体安装座抵接，实现靶体的轰击面紧贴离子通道。
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