[实用新型]一种温度和湿度连续可调的湿度发生器

摘要

本实用新型公开了一种温度和湿度连续可调的湿度发生器，涉及湿度发生器技术领域，其包括有用于可连续提供单一或多种混合配置气体的高压气源、冷冻除湿装置、干燥装置、高效过滤器、质量流量计、汽化器、供液装置、计量泵以及恒温液体控温装置；与现有技术相比，本方案具有的有益技术效果为：通过采用上述结构形式的湿度发生器，可以保证在不同温度下单一或多组分混合气体所含一定浓度的单一或多种化学物质的气体，其湿度连续可调。

主权项

1.一种温度和湿度连续可调的湿度发生器，其特征在于，所述湿度发生器包括有：用于可连续提供单一或多种混合配置气体的高压气源；冷冻除湿装置，所述冷冻除湿装置与所述高压气源的出气口相连，用于对所述高压气源输出的气体进行冷却并去除水汽；干燥装置，所述干燥装置与所述冷冻除湿装置相连，用于对经所述冷冻除湿装置中输出的气体进行干燥处理；高效过滤器，所述高效过滤器与所述干燥装置相连，用于对经所述干燥装置干燥处理后的气体进行过滤处理；用于提供去离子水或一种或多种化学试剂溶液的供液装置；汽化器；质量流量计，所述质量流量计设置在所述高效过滤器和汽化器之间，其中经所述高效过滤器过滤处理作业后的气体通过所述质量流量计精确的输入至所述汽化器中；计量泵，所述计量泵设置在所述供液装置和汽化器之间，其中由所述供液装置输出的溶液通过所述计量泵精确注入到所述汽化器中；以及恒温液体控温装置，所述恒温液体控温装置与所述汽化器相连，其中所述恒温液体控温装置对经所述汽化器输入的混合气体进行精确控温并进行湿度测量。