[实用新型]一种真空炉叠层坩埚组件

摘要

本实用新型公开了一种真空炉叠层坩埚组件，包括料台、衬板、环形坩埚、隔套、提料杆、料杆底托、散热缝、环挡圈；所述料台中间设有下凹式平面、外周边设有环挡圈；所述环挡圈内设有带有圆形通孔衬板，所述圆形通孔内装配有料杆底托，所述料杆底托中心一体式设有提料杆，所述提料杆上间隔式、嵌套叠层设有多层环形坩埚和隔套；所述环形坩埚中孔上部配置有隔套；相邻两层环形坩埚之间形成环形散热缝；本新型采用叠层圆环组合坩埚设计，分层坩埚层内装料少，受力小不易变形；坩埚之间有隔套，坩埚受热面积更大，加热更均匀；分散装料有利于杂质挥发，真空排气；组合坩埚极大提高产品质量，更利于不同规格产品同炉处理，提高设备利用率。

主权项

1.一种真空炉叠层坩埚组件，其特征在于，包括料台、衬板、环形坩埚、隔套、提料杆、固定孔、料杆底托、散热缝、环挡圈、坩埚沿；所述叠层坩埚组件均采用纯钨材料制造，所述料台为真空炉内承载产品重量的平台，其中间设置有下凹式的圆形平面，所述料台外周边设置有环挡圈，用于限制装料的最大尺寸；所述料台的环挡圈内设置有衬板，所述衬板为中间带有圆形通孔的圆形平板，所述衬板的外径与料台环挡圈的内径匹配设置；所述圆形通孔内装配有料杆底托，所述料杆底托中心位置一体式设置有圆柱形的提料杆，所述提料杆顶端设置有固定孔；所述提料杆上间隔式、嵌套叠层设置有多层环形坩埚和隔套；所述环形坩埚为带有中孔和外圈坩埚沿的圆盘形体，所述环形坩埚中孔上部配置有隔套；所述隔套的高度大于所述环形坩埚的坩埚沿高度，由此在相邻两层环形坩埚之间形成环形的散热缝；所述提料杆依次穿过多层间隔式叠层的环形坩埚、隔套。